okamoto 减薄机gnx300,研磨机是向下进给式全自动硅片减薄设备,兼容8”和12“的机械搬送臂。
okamoto 减薄机gnx300b研磨机特点：
·gnx300b拥有bg研磨专利技术。
·日本机械学会授予标准传送方式及向下研磨方法技术奖
·主轴机械精度可调
·自产铸金一体化结构，不易老化，精度持久
·润滑系统有完善防护，避免进入造成磨损
·适用晶圆尺寸：6”、8” 、12” max晶圆厚度： 1000μm。
·可切换全自动、半自动操作模式
·17寸触控操作与监控屏，监控气压、电流、水流、厚度等
·研磨耗材损耗小，加工成本低廉
·研磨硅屑细小，冲洗更干净
gnx300b减薄机/研磨机规格：
规格 gnx300b
max加工直径 ф300mm
主轴转速范围 0~3000rpm
主轴驱动电机功率 5.5/4 kw/p
主轴进给速度范围 1~999μm
主轴数 2
工作盘转速范围 1~300rpm
研磨轮尺寸 ф300mm
设备整重 5700kg
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