正常运行时，空气经过漏点被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大气。试验时在真空泵入口的空气管上接一根软管至氦质谱检漏仪，在真空系统的漏点处喷氦气，由于氦质谱检漏仪工作时能形成比水环式真空泵更高的真空，正压氦所质谱检漏仪厂家，因此，漏入真空泵入口管上氦气与空气的混合元体，有一部分被吸入到氦质谱检漏仪，由于氦分子质量与其他分子质量不一样，通过磁场产生的偏转磁力不一样，正压氦所质谱检漏仪哪家好，氦质谱检漏仪上设计有一狭缝，正压氦所质谱检漏仪多少钱，刚好使氦分子通过而其他分子无法通过，这样，通过狭缝后的氦分子打在收集板上，通过靶板计数，即可知道通过的分子数泄漏量的相对大小。
氦质谱检漏仪的结构
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴*正常工作时需要具备0.001-0.01pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。
氦质谱检漏仪的工作原理是什么？
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，正压氦所质谱检漏仪，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪。
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