蔡司三次元工作原理就是利用探测传感器（探头）与测量空间轴线活动相互配合，对待测几何图形开展离散的空间点区域的获得，并且通过一定程度的数学运算，实现对所检测点（点群）的解读拟合，进而复原出被测试的几何图形，并在这个基础上测算其与理论值（名义值）相互之间的误差，进而实现对待测部件的检测工作。蔡司三次元测量仪操作方法：蔡司三次元测量仪测量前准备工作。检验空气轴承工作压力是否足够。组装产品工件，测头选取与组装：将合适之测头装于z轴承接器；检查z轴能否可以自动脱落（滑落应调节红色压力平衡调节阀）；确定各轴之合适具体位置。蔡司三次元测量仪测量操控：启用处理机开关电源；开启打印机电源开关；参照操作指南，选取需要作用之命令；开展量测，并读取量测值。蔡司三次元测量仪使用规范：蔡司三次元测量仪为高精密仪器设备，需要在20±3℃条件下应用，不然会有测量偏差。特别注意维护测头，每一次测量完以后，先要把立轴（z轴）拉高至产品工件够不到处。大理石平台及立轴一定不可以用油和水擦洗，不然会毁坏仪器设备；如果需要，可以用酒精擦。