水处理工艺：
超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法；
纯水设备采用的是主要是反渗透膜技术；
水质不同：
水质的电导率可根据用水对象进行调整，大致分为五个等级：0.5mω.cm、2mω.cm、10mω.cm、15mω.cm、18mω.cm。
超纯水水质的电导率>15mω.cm；
纯水设备根据水处理工艺不同，产出的水质不同：edi工艺15～18mω·cm、混床2～10mω·cm；
用水对象：
超纯水设备可用于超纯材料和超纯试剂的生产和清洗、电子产品的生产和清洗、电池产品的生产、半导体产品的生产和清洗、电路板的生产和清洗、其他高科技精细产品的生产等；
纯水设备可用于电厂化学水处理；电子、半导体、精密机械行业超纯水；食品、饮料、饮用水的制备；小型纯水站，团体饮用纯水；制药工业工艺用水；精细化工、精尖学科用水；其他行业所需的高纯水制备。
电导率≥18mω.cm的水处理工艺：原水预处理→反渗透→中间水箱→水泵→edi装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象。
电导率≥15mω.cm水处理工艺：原水预处理→反渗透→中间水箱→水泵→edi装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象；