工作时内部压力不超过100pa的金属蒸气放电灯。
应用于光学清洗、光刻胶灰化、硬化、光学cvd等表面清洗和改性领域。
日本orc低压紫外线灯的特长：
1.高效发射185nm和254nm紫外线，对表面处理和改性有效，且具有照射损伤小的优点。
2.有臭氧灯和无臭氧灯可供选择。
3.形状有u型、直线型、面照射型三种，也可以加工特殊形状。
4.可以准备长达2500mm的发射长度。
典型发射光谱发射光谱
臭氧发生型（如vuv-040/a2.2u等）
无臭氧型（如glm-956/c-10u等）
高效发射185nm和254nm紫外线，对表面处理和改性有效，且具有照射损伤小的优点，
形状有u型、直线型、面照射型三种，也可以加工特殊形状。