ne-q05是一款石英真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。小型石英等离子清洗机结构主要包括控制单元、石英真空腔体、真空泵三部分。等离子清洗机的工作流程为：腔体抽真空—充入工艺气体—电离工艺气体并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔体内单种或者多种清洗所需气体，一般为ar、o2、n2等，外加射频功率在平行电极之间形成交变电场，电子通过电场加速对工艺气体进行冲击使气体发生电离形成离子，作用在被清洗表面，电离产生的粒子与电子数量达到一定规模，便形成了等离子体。等离子体高速撞击材料表面，与被清洗表面污染物发生理化反应，实现材料的清洗，并利用气流将污染物排出腔体。通过等离子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面状态、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸润性能。
ne-q05 系统功能特点：
•真空腔体材质采用石英玻璃，不易与材料表面发生反应，污染清洗样品
•等离子发生器采用13.56mhz射频发生器，自动阻抗匹配调谐
•触摸屏用户界面+plc控制，可储存多条工艺程序，全自动运行
•配备两路气路通道，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
•整体外观处理工艺、机架门板烤漆、耐用、防刮
•铝合金自动门：氧化处理、喷砂、光洁高档
•电路设计电流过载保护，模块式电路、维修方便快捷
•手动、自动、真空保压均可操作，不倒翁橡胶脚杯，自动平衡机器、减震
序号
项目
型号规格
参数
1
等离子体发生器
功率
0-200w可调
频率
13.56 mhz 固态射频电源
2
真空反应腔室
腔体材质
石英耐热玻璃
腔体容积
5l
载物托盘
玻璃托盘，平行放置
腔体直径（圆形）
φ150×270（d）mm
3
气路控制
气体流量控制器
浮子针阀流量控制器，0-500ml
气路数量
最小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等
4
真空测量
真空计
smc 真空计
5
抽气系统
真空泵
飞越 8m³/h
极限真空度
0.1pa
6
控制系统
触摸屏
4.3寸
plc
松下plc模块
软件程序
自主专利设计等离子控制系统
7
场务条件
电源供应
220v
气管接口
直径8mm
气体纯度
99.99%
气体压力
0.3-0.6mpa
排气口
kf25
8
整机参数
整机功率
1000w
外形尺寸
500mm(l)×480mm(w) ×560 mm(h)
重量
40kg