（一）保压测试（pressure test）保压仪，管道测试的压力为设计压力的1.15倍，保压仪使用时间至少30分钟，测量过程中压力保持不变。
（二）氦测漏（he leak test）氦检仪，检测不得低于10e-10cc。
（三）粒子含量分析（particle analyzer）粒子计数器，被测气体中0.1-0.3微米的颗粒总数≤35且连续测量至少3次全部达标。
（四）氧含量分析（oxygen analyzer）氧浓分析仪，氧气的含量应≤100ppbv。
（五）水含量分析（moisture analyzer）水分含量分析仪，气体的流速低于设计的流速的10%且小于3m/s，水分应该≤1ppbv。