等离子清洗机(plasma cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合,通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗可以对不同的材料进行处理,如金属、氧化物、高分子材料等, 而且清洗的过程中零件温升不高,适合于不耐热的材料。在零件清洗的同时,等离子体清洗机还有表面改性的作用,在镀膜之前,使用等离子体清洗机来清洗零件,可以改善零件表面的湿润性能,提高膜的附着力。
关键词:等离子清洗机 电路板 新能源 锂电池
