1、光源：光源的功能是发射被测元素的特征共振辐射。对光源的基本要求是：发射的共振辐射的半宽度要明显小于吸收线的半宽度；辐射强度大、背景低，低于特征共振辐射强度的1%；稳定性好，30分钟之内漂移不超过1%；噪声小于0.1%；使用寿命长于5安培小时。空心阴极放电灯是能满足上述各项要求的理想的锐线光源，应用广。
2、原子化器：其功能是提供能量，使试样干燥，蒸发和原子化。在赛默飞原子吸收光谱分析中，试样中被测元素的原子化是整个分析过程的关键环节。原子化器主要有四种类型火焰原子化器、石墨炉原子化器、氢化物发生原子化器及冷蒸气发生原子化器。实现原子化的方法，常用的有两种：
a、火焰原子化法：是原子光谱分析中早使用的原子化方法，至今仍在广泛地被应用；
b、非火焰原子化法，其中应用广的是石墨炉电热原子化法。
3、分光器：它由入射和出射狭缝、反射镜和色散元件组成，其作用是将所需要的共振吸收线分离出来。分光器的关键部件是色散元件，商品仪器都是使用光栅。原子吸收光谱仪对分光器的分辨率要求不高，曾以能分辨开镍三线ni230.003、ni231.603、ni231.096nm为标准，后采用mn279.5和279.8nm代替ni三线来检定分辨率。光栅放置在原子化器之后，以阻止来自原子化器内的所有不需要的辐射进入检测器。
4、检测系统：赛默飞原子吸收光谱中广泛使用的检测器是光电倍增管，一些仪器也采用ccd作为检测器。