臭氧是一种强氧化剂，具有消毒灭菌的功能，不产生残余污染，而且已被广泛的应用于医药、电子、化工、光学等工业和生物制品、遗传工程、食品饮料生产、食品储藏加工、海产品加工、远洋运输等诸多领域。制药、生物制品、遗传工程等行业可以利用臭氧对无菌生产环境消毒灭菌、净化空气；可以对生产设备、模具、工具、容器、反应釜贮罐和输液、输料、输气管道进行消毒；也可以对生产原辅材料、包装材料、工作服等进行消毒。
医药工业及食品工业洁净室与其他工业洁净室有所不同，特别是无菌生产制剂及原料药品生产，不仅要控制空气中一般悬浮状态的气溶胶粒子，还要控制或微生物数，既提供“无菌药品、绿色食品”生产所必须的相应空气洁净度环境。当然“无菌”是相对的，是一个或然率的概念。
臭氧发生器是以空气为原料，不需要其他任何辅助材料。工作时产生一定量的臭氧，在相对密闭的环境下，扩散均匀，包容性好，克服了紫外线杀菌存在诸多死角的固有缺点，可达到、快速、的消毒灭菌目的。