超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎*去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
影响超纯水器的指标有哪些？
（1）水质监控
水质监控是产水品质的重要保证。高品质的纯水仪器必须包括实时在线的电导率（电阻率）检测仪和温度监测。目前利用高精度的电导率仪（或电阻率仪）来测定超纯水的离子水平已经成为了超纯水器的标准配置。这里要注意的是，因为要测定的电导率值非常低（电阻率很大），所以一定要留意电导率仪的精度是不是能达到要求，一般要求电导率仪的电池常数 0.01 cm-1（参加gb/t6682相关要求）。并可准确显示温度补偿的电阻率。同时还要具有水质不合格自动报警功能，可以根据用户的实际需要更改水质报警参数。
（2）微生物（细菌）指标
微生物污染是常常会被忽略的一个问题，微生物污染一旦出现，将会迅速遍及到整个超纯水系统，并且逐渐形成菌膜，很难去除。它们不断向水中释放有机物和离子，造成纯水的二次污染。使用这样的水进行实验，会对实验结果有很大的影响。如进行离子色谱和液相分析时出现鬼峰。
为了防止微生物的污染，应该选择无死体积、采用循环管路、带有紫外杀菌器、终端除菌过滤器的实验室超纯水器，可以很大程度的抑制微生物在系统内的生长和增殖。
（3）使用简单、便捷
一个仪器使用是否方便是衡量一个仪器好坏的重要标志。对于纯水机来说，衡量它使用方便与否，还看能否让操作人员只操作取水键，而不需其它额外的操作。
（4）维护方便
超纯水器中所使用的离子交换树脂，活性炭，终端过滤等过滤柱都是有一定的使用寿命的，需要对其进行定期更换，才能确保水质达标。很多人认为离子交换树脂是可以不断再生，循环使用，其实不然。过期或再生的树脂会向水中释放出高浓度的污染物，再生树脂重复使用也会导致树脂颗粒的破损，向水中释放出颗粒和有机物，加速微生物的生长。所以仪器本身自带的预警功能非常重要，它可以在耗材耗竭，水质*变坏以前，提醒您准备更换耗材。