特点
•xyz三维运动 •行程200μm/轴 •超薄体积 •可选闭环版本获取更高精度
开环与闭环版本可选
xd602压电位移台可以选择开环或闭环版本，闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（sgs），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该纳米定位台实现较高的线性度与重复度。
配套控制器
xd602系列压电位移台，可搭配芯明天e70系列压电控制器使用，模拟与数字控制，体积小巧，高性能搭配。
技术参数：
型号：xd602
运动方向：x/y/z
标称行程范围（0 ~120 v）：160µm
行程范围（0~150v）：200µm
传感器类型：sgs
开环分辨率：8nm
闭环线性度：0.2%f.s.
闭环重复定位精度：0.1%f.s.
空载谐振频率：270hz
加载100g负载谐振频率：110hz
50%行程空载使用频率：20hz
台体材料：铝
工作温度范围：0~50 ℃
承载能力：300g