icp-oes主要由以下几部分组成：
射频发生器：用于产生高频电流，通过线圈时，其周围产生交变磁场，使少量氩气电离产生电子和离子，在磁场作用下加速运动与其它中性原子碰撞，产生更多的电子和离子，在炬管内形成涡流，在电火花作用下形成等离子炬。
等离子体源：包括等离子体炉，用于产生高温高能量的等离子体。
光学系统：主要包括光栅光谱仪或光腔设计，用于分散样品中的光谱信号，并选择某一特定波长的光信号进行检测和分析。
检测器：常见的检测器有光电二极管、多道光电倍增管(pmt)等，用于检测和转换光信号为电信号。
信号处理和数据采集系统：包括电子学放大器、adc（模数转换器）、计算机等，用于放大、处理和采集检测器输出的电信号，并将其转化为数据进行分析和记录。
使用电感耦合等离子体发射光谱仪时应注意安全，避免样品中的有害物质对人员和环境造成损害。同时，为了获得准确的分析结果，需要对仪器进行定期维护和校准。