自动清洗的基本原理
利用28khz以上的电能，经自动换能器转换成高频机械振荡而传入到清洗液中。自动在清洗液中疏密相间地向前辐射，使液体流动，并不停地产生数以万计的微小气泡。这些气泡是自动纵向传播的负压区形成及生长，而在正压区迅速闭合。这种微小气泡的形成、生成迅速闭合称为空化现象，空化现象中气泡闭合时形成超越1000个大气压的瞬时高压，连续不时发生的瞬时高压，像一连串小不停地轰击物体外表，使物体及缝隙中的污垢迅速剥落。这种空化侵蚀作用就是自动清洗的基本原理。
2清洗工艺流程
自动上料→去离子水＋自动清洗＋抛动→碱液＋自动清洗＋抛动→去离子水＋自动清洗＋抛动→碱液＋自动清洗＋抛动→碱液＋自动清洗＋抛动→去离子水＋自动清洗＋抛动＋溢流→去离子水＋自动清洗＋抛动＋溢流→自动下料
3清洗液的佳配比的确定
取4″及500祄厚的硅片做十组实验，固定5分钟清洗时间及超声清洗的温度，见下面列表。
从表中观察不同条件下硅片表面，用荧光灯照射外表可清楚看出硅表面的洁净水平。因此得出清洗液的佳配比为 活性剂:清洗剂:去离子水=0.10:1.00:7.0
通过实验发现当清洗剂的浓度越低，越有利于水的清洗，但清洗剂的浓度不能低于15%否则清洗效果反而降低。
4超声清洗时间的确定
将磨片分为十组，以上述佳配比为清洗液超声清洗，按不同的时间分为十批清洗，清洗时间分别是12345678910min同时用去离子水代替清洗液同样条件下做对比实验，得出结论，清洗剂的清洗效果明显好于去离子水，而且超声清洗时间在3min清洗效果就已经比拟理想了
5超声清洗温度的确定
非离子外表活性剂在液固界面的吸附量随温度升高而增加。这是因为在低温时非离子外表活性剂与水完全混溶，亲水基聚氧乙烯与水形成的氢键能量低，当温度升高后，分子的热运动加剧，致使氢键破坏，使非离子外表活性剂在水中的溶解度下降，温度升高到一定值时，非离子外表活性剂从水溶液中析出变混浊，此温度即为浊点。因此温度升高时非离子外表活性剂逃离水的趋势增强，吸附量增大。温度对非离子外表活性剂的去污能力的影响是明显的当温度接近于浊点时，清洗效果好。通过实验得出3050℃之间均可，但45℃为佳。
6扫描电子显微镜的观察
通过扫描电子显微镜能谱分析可以得出：研磨片的外表黑点主要是颗粒污染物和碳元素聚集物。
3.实验结果和讨论
1硅片经过磨片工序后，一直使硅片处于去离子水中浸泡状态，这样在经过清洗机清洗后表面洁净，化抛后尤为明显，化抛后硅片外表相当光泽干净，使其合格率大大提高；若由于工艺需要测试硅片厚度或电阻率，使其脱离水后，重新清洗后的硅片化抛时，外表大多数会呈现暗花及不明显的污染痕迹，直观外表较差。
2清洗次数对清洗效果有很大影响，清洗次数多的硅片比清洗次数少的硅片外表光洁，这就要求在以后的探索中如何控制清洗液的时效性，如清洗四英寸硅片达500片时，需及时更换清洗液。
3适当加入有机碱，利用碱的腐蚀性，络合硅片表面的金属离子，以加快清洗的速度，提高清洗的效率。
硅片的清洗在半导体制作过程中十分重要，而磨片的清洗是所有清洗工序中困难的由于使用了自动清洗机，通过物理渗透作用，使污染颗粒脱离硅片外表，再通过自动清洗的机械作用和化学腐蚀作用，终去除污染颗粒，达到清洗硅片的目的
超声波清洗中应注意的几个问题
一、功率的选择
超声清洗效果不一定与（功率×清洗时间）成正比，有时用小功率，花费很长时间也没有清除污垢。而如果功率达到一定数值，有时很快便将污垢去除。若选择功率太大，空化强度将大大增加，清洗效果是提高了，但这时使较精密的零件也产生蚀点，得不偿失，而且清洗缸底部振动板处空化严重，水点腐蚀也增大，在采用三氯乙烯等时，基本上没有问题，但采用水或水溶性清洗液时，易于受到水点腐蚀，如果振动板表面已受到伤痕，强功率下水底产生空化腐蚀更严重，因此要按实际使用情况选择超声功率。
二、频率的选择
超声清洗频率从十几khz到100khz之间，在使用水或水清洗剂时由空穴作用引起的物理清洗力显然对低频有利，一般使用15-30khz左右。对小间隙、狭缝、深孔的零件清洗，用高频（一般40khz以上）较好，甚至几百khz。对钟表零件清洗时，用400khz。若用宽带调频清洗，效果更良好。
三、清洗笼的使用
在清洗小零件物品时，常使用网笼，由于网眼要引起超声衰减，要特别引起注意。当频率为28khz时使用10mm以上的网眼为好。
选购清洗机的几点建议
一、现状分析
对实验室来说器皿的清洗是一件非常重要，但容易被人忽略的事情。清洗是指去除器皿上的污物使物品得达到能进一步处理和使用的程度。当研究变得越来越精细，对实验数据准确度的要求变得越来越高时，玻璃器皿的清洗和烘干就显得非常重要。
1、我国目前有大量的实验室为企业或公众服务，作为检测来说，最基本的也是一要做的是实验室玻璃器皿的清洗工作。以前实验室检测设备相对比较粗放，国家的标准也相对较低，实验室的检测样品量较少，手工清洗可以满足要求。
2、随着生活水平的提高和公众健康意识的提高，国家质量标准基本与国际接轨。加上食品安全事故频发，环境污染严重，企业竞争的加剧，都在考验着实验室综合技术实力。、准确、可追溯的检测数据才能指导企业生产出更高质量的产品，才能保证政府监管单位对社会提供更好地指导。
3、为此，我国大量的实验室配置了目前世界上先进的检测设备，如：这些设备的检测精度极高，可以达到ppm或ppb级，同时检测效率也大大提高，实验室人员需要操作的高精尖设备越来越多，复杂而又繁重的样品前处理浪费了实验人员大量的有效时间。
4、随着样品前处理设备的发展，全自动固相萃取仪、gpc凝胶净化、全自动微波消解仪等设备的应用，已能基本解决实验室的更率的低下问题。
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