ffu送风单元 www.ymejh.com
ffu(fan filter unit)是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。ffu通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。ffu上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效（hepa）或超高效（ulpa）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服ffu下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。ffu系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一
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ffu过滤单元采用美国技术，适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。
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灵活性。因为ffu层流罩是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，ffu的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
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2 、百级层流罩可以单个使用，也可多个连接组成带状洁净区域。层流罩是将空气以地风速通过高效过滤器后，形成均流层，使洁净空气呈垂直单向流，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度。
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