tetra-30/50-lf-pc标准型规格参数
1.外形尺寸
w600mm × h1800mm × d800mm
2.等离子反应舱
30型:w305mm × h300mm × d370mm
舱体容量：约 33升
50型:w305mm × h300mm × d625mm
舱体容量：约 57升
3.射频频率
40khz / 0-1000w 连续可调
4.控制系统
基于微软操作系统的工业pc控制 全自动/手动
5.电极和托盘
30型:1-6层电极和托盘 (可选择旋转舱体)
50型:1-8层电极和托盘 (可选择旋转舱体)
6.真空泵
二级旋片真空泵 最低抽速：16m3/h
真空泵可使用氧气o2 油污过滤器
7.参数
停泵压力、处理压力、气体流量
稳定时间、射频功率、处理时间、停止时间
8.特点
压力数字显示、处理终止报警、真空安全开关、舱门安
全开关、压缩气体压力传感器、信号灯、远程控制接口
9.供气系统
2通道气体质量流量计
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史春林
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