光纤光谱仪为真空室内镀膜过程的监控提供了一种灵活的测量手段，它可以方便地把光引入并引出真空室或洁净工作仓，同时选择镀膜过程分析所需要测量的参数。在实际的在线生产中，可以在工作仓中放置几个探头来检测整个生产过程。图示为真空室镀膜过程监控的典型实验布局。在这里一个反射型光纤探头用来在线监测镀膜过程。氘-卤素灯发出的光被导入真空室并传导到反射探头上，反射光由反射探头传导到光谱仪中；也可以再增加一个通道作为参考测量来补偿光源的波动。
hpf系列微型光纤光谱仪特点
hpf系列的光谱仪采用hamamatsu公司的二维排布的薄型背照式fft-ccd探测器，量子效率可达90%，其具有高的紫外响应和信噪比。由于其在紫外波段具有较高的响应度，因此不需要采用紫外镀膜工艺，也就自然避免了不同uv镀膜批次的质量不同问题。
hpf系列光谱仪适合于需要高灵敏度、良好的紫外响应和大动态范围的应用。
hpf-01、hpf-02光谱仪的价格分别为￥12000、￥12800，性能和价格基本匹配。动态范围为8000:1. hpf-01和hpf-02在很多参数上具有同样的性能，hpf-02的特点是具有更宽的波段范围。它们可以应用在需要高灵敏度、良好紫外响应和大动态范围的应用领域。
微型光纤光谱仪hce系列体积小
hce系列光谱仪体积非常小，尺寸图如下：
微型光谱仪与毛细液流取样系统结合可制成微 全分析系统(μtas),可用来分析地下水中的磷、硝 酸盐、金属和有害物的含量或分析人体中的液体试样等,是目前研究的热点,有巨大的潜在市场和经济利润。
随着微电子技术和微加工的发展,微型光机电系统的制造技术日趋成熟。在微系统的控制和ic集成工艺与现代光学传感技术相融合的基础上,利用x射线、电子束、离子束、光刻等精密机械加工技术和封装技术,可以将传统的光电仪器微小化和集成化。它的结构紧凑、体积小、质量轻、耗能耗材少、性能稳定、寿命长、价格低廉而且便于批量生产。
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