硅片直径300mm 要适合多代技术的需求
在刻蚀方面如英国trikon公司采用的螺旋波等离子体（mori）源，在电磁场作用下控制等离子体和改善均匀性，它能在300mm片内对氧化物介质均匀地刻25nm通孔，深/宽比达30：1。目前300mm片径生产180nm、150nm、130nm的ic设备都已进入生产线，100nm的也开始提供。
张家港晋宇达电子科技有限公司
从晶体管问世算起，半导体技术的发展已有多半个世纪了，现在它仍保持着强劲的发展态势，继续遵循moore定律即芯片集成度18个月翻一番，每三年器件尺寸缩小0.7倍的速度发展现在片径已达300mm，dram半节距已达150nm，mpu栅长达100nm。大尺寸、细线宽、高精度、高效率、低成本的ic生产，对半导体设备带来前所未有的挑战。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备
光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
公司透过从技术维修服务的突破性整合，致力缔造企业核心竞争力，以客户为中心、服务为核心和销售作为经营理念，为大陆提供优质服务为宗旨的企业思想，对于一些重点客户及在长三角，珠三角，北京等地，我公司在香港、上海、无锡、张家港等地设立了分公司及办事处，并长期有工程师驻扎。
张家港晋宇达电子科技有限公司
13338760999
中国 苏州