加工定制是	品牌koyo
型号VF3000	用途半导体芯片湿氧氧化工艺
别名湿氧氧化炉	规格W1200xD1400xH2610

用于vcsel湿氧氧化工艺，量产式设备，一次可处理25片
用于vcsel湿氧氧化工艺，量产式设备，一次可处理25片
工艺验收标准
1）氧化均匀性：6±1um
2）氧化速率稳定性：连续作业，速率偏差±0.01um/min
吉永商事株式会社（上海分公司：上海瞻驰光电科技有限公司）是一家以半导体事业为核心经营内容的技术型、国际化商贸公司。总部设于日本大阪，在中国香港、上海、北京、西安、武汉、无锡等地设有销售及服务中心。公司一贯秉持“诚信，专业，改善”的经营理念，专注于光通信芯片、微波射频器件、功率器件、传感器、先进封装等领域，可提供ld/pd,pa/filter/mmic,ln/lt,igbt,ln/lt,mems,cis,tsv /fan-out等成套工艺设备解决方案。
吉永商事株式会社与日本多家著名半导体设备厂商合作，共同致力于服务中国客户，具有深厚的行业背景和技术实力。可为中国的生产企业、科研机构和高校提供包括设备、材料、生产工艺等多方面的技术支持。
主要产品：晶圆背面减薄机|cmp化学机械平坦化|晶圆贴膜撕膜|划片机、裂片机|蒸发台、刻蚀机、电镀|igbt高压测试分选|扩膜机|排巴机|二氧化碳发泡|高温退火炉

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上海瞻驰光电科技有限公司
王女士
15300099033
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