- 适用领域：电子行业
- 水温：
- 加工定制：
- 型号：SFQ
- 品牌：中电科技45所
- 超声波功率：
- 清洗槽容积：
- 震动板尺寸：
- 外形尺寸：
- 清洗温度：
- 超声清洗频率：
- 工作方式：采用高性能PLC或工控机实现集中控制
- 槽数：8
- 用途：工业用
- 类型：半导体
- 产品别名：
- 移动方式：
- 功率：根据用户要求提供工艺配置及技术支持
- 额定容量：
sfq/sfqz系列湿法清洗设备广泛应用于ic（集成电路）、led（发光二极管）等领域，用于各种半导体基片及类似材料制造过程中湿化学处理工艺，有手动、半自动及全自动三种配置，可根据用户工艺要求提供包括设备配置、技术性能、工艺支持等全套解决方案。
六大专有技术
湿法清洗设备系统集成技术
气/液自动传输及控制技术
材料与化学工程防护技术
温度传递及精确控制技术
晶片自动传输及自动控制技术
溶液流场均匀性控制技术
主要技术特点：
系统结构：设计紧凑、洁净、防腐、安全、多种式样机架可供选择
控制方式：采用高性能plc或工控机实现集中控制，结合单元功能控制简化操作
槽体配置：材料：npp、pvdf、ptfe、石英、pvc、不锈钢等多种材料
功能：恒温控制（加热/制冷）、循环、过滤、自动补液、抖动、旋转、超声/兆声、溢流、快排、鼓泡、干燥等
定制设计：根据用户要求提供工艺配置及技术支持
中国电子科技集团公司第45研究所
王
13363646951