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氮气 氩气 氢气 甲烷配比 石墨烯CVD供气系统

2018/7/13 22:37:00发布103次查看
  • 加工定制:是
  • 品牌:科探仪器设备
  • 型号:CS200A/D07-19B
  • 类型:质量流量计
  • 测量范围:2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,
  • 精度等级:±0.2% FS
  • 公称通径:详询
  • 适用介质:气体
  • 工作压力:详询
  • 工作温度:5-45
  • 规格:详询

   
产品型号 kt-s3z
产品类型 高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰
流量量程 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度 ±0.35%f.s.(<35% f.s.) ±1.0% s.p.(≥35% f.s.)
重复精度 ±0.2% fs
线性 ±0.5% f.s.
响应时间 ≤0.8sec
工作温度范围 (0~50)°c
耐压 3mpa
密封材料 金属密封 metal
输入输出信号 (0~5)vdc,(0~20)ma,(4~20)ma,rs-485,devicenet,profibus
电源 ±15v,24v,±8 ~ ±16 vdc or +14 ~ +28 vdc
阀类型 常开或常闭
温度系数 span: ≤±0.05% f.s./℃,zero: ≤±0.05% f.s./℃
零点飘移指标 <0.6%f.s. per year without autozero
电气连接 profibus,d sub 15 pins male,d sub 9 pins male,devicenet male
工作压差范围 (0.05~0.35) mpa (f.s.≤10slm),(0.1~0.35)mpa(10slm≤f.s.≤30slm)
漏率 1×10-10atm•cc / sec he(1×10-11 pa•m3 / sec he)
标准接头形式 双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),vcr1/4”,igs w型,igs c型
表面化学成分 cro thickness >20 angstroms
表面粗糙度 10μinch
抗电磁干扰 ce  
联系电话:0371-60308298
手机/微信:15286826848
qq:760625767
联系人:李工

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