mks gm100a质量流量控制器
gm100a是金属密封的数字质量流量控制器，非常适合应用于50-100slm各种各样的工艺中，gm100a具备专利的传感器技术与机械设计，并且融合最新的数字与协议电子控制，相对于其他品牌对应产品是最优秀的产品。gm50a与gm100a的流量范围涵盖5sccm至100slm的超宽量程范围。
gm100a mfc有i/o模拟与数字通讯电气控制，mks最新的数据处理控制算法提供了在控制范围内快速的可重复性。精度为标定气体的1%，gm100a的通讯接口等完全兼容1479amfc，并且扩展了流量范围。所有gm100a包括modbus可作为一种有效二次1/o。
gm100a特点与优点：
mks专利的热传感器设计提供了卓越的稳定性。
设计精度为1%保证了过程的精确控制
很容易调节量程范围，减少了客户成本
高抛光的316l表面适合高纯度工艺使用
兼容模拟和数字（rs485/devicenet、profibus协议）可以完全替换1479a
符合ce与rohs认证
compact 3 inchfootprint with high flow 4 vcr fittings allows the user to increasesystem flow rate without the need to modify gas lines.
gm100a主要技术参数：
量程范围：50-100slm（gm50a5-50000sccm）
最大进口压力：150pisa
工作压力：40-80pisa
最大承受压力：1000pisa
损坏压力：1500pisa
控制范围：全量程的2%至100%
精度：在20%至100%设定量程为±1%，设定值2%至20%时为±0.2%
重复性：读数的0.3%
分辨率：0.1%
响应时间：小于750msec
工作温度：10~50℃
gm100a订购资料：
例：型号p2a013500rat2
采购序列号
中流量mfc
gm100a
用于校准的气体
五氟化砷asf5
096
胂ash3
035
氮气n2
013
ph3
031
其他气体
可选
满量程流量范围
50000sccm
504
75000sccm
754
100000sccm
105
法兰接口
4vcr
r
8vcr
t
1/2
k
通讯接口
devicenet
4
rs485（使用9针d型接口）
5
profibus
6
d-9 pin（0-5v）模拟量
a
d-15 pin（0-5v）模拟量
b
d-15 pin（4-20ma）
h
阀/密封类型
常闭阀/丁晴橡胶阀塞
mb
常闭阀/氯丁橡胶阀塞
mn
常闭阀/氟橡胶阀塞
mv
无阀/mfm
30
标准
mks标准
0
软件版本
mks会安装最新出厂版本
20
成都四洋科技有限公司是fssc成员之一，位于中国国家级成都经济技术开发区。主要涉足低温、电子、真空行业。公司拥有一批资深技术团队，是集生产、贸易、维修服务为一体的高科技公司。公司核心技术人员依托美国chart（原中国国企“金凤“）及、核工业物理所技术优势，致力于低温储存技术、真空绝热技术、深冷处理技术的研究、开发及系统集成，提供特殊低温应用领域的技术方案、产品设计及专用低温设备研发；代理业务包括销售国外知名产品:美国aeg调功器、美国ae（advancedenergy）公司电源、美国mks（万机）真空计及流量计、德国普发pfeiffer真空设备及仪器、美国brooksautomation cti低温冷泵、gp真空计、瑞士英福康inficon、brooksinstrument流量计、gnb真空阀门等产品。
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