品名钛靶材，钛颗粒，	牌号TA3
产地北京	钛含量≥99.995%
杂质含量0.005%

钛
   化学符号：ti
   原 子 量：47.867
   密    度：4.5g/cm3
   熔    点：1700℃
   沸    点：3287℃
   临界温度：4350℃
   电 阻 率/μω.cm：43～47
   线膨胀系数/℃-1:8.5×10-6
   汽化温度/℃：1577
   电阻温度系数/℃-1:3.50×10-3
   波    长/nm：630
   折 色 率n：2.9
   消光系数k：3.3
   反 射 率/%：55.6
   蒸发温度：饱和蒸汽压为1.33pa时为1750
   蒸发源材料：(w、ta)(丝、片)，（c、tho2）坩埚
   特     点：机械强度大，有良好的可塑性，容易加工，有良好的抗腐蚀性能。
   用    途：主要用作半导体材料和超高真空装置中的吸气材料。
   分析报告：
   元素 检测值ppm 元素 检测值ppm 元素  检测值ppm
    fe    0.06%     ci   0.02%      si    0.02%
    n     0.02%     c    0.06%      o     0.06%

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