上海泽尔尼仪器有限公司是由中国人本集团和美国Xomi Instruments Co., Ltd. 于2005年5月共同投资组建的中国大陆第一家拥有完全自主知识产权的高精度无接触自动半导体测量设备供应商，是上海市集成电路行业协会（SICA）的会员。公司生产的设备广泛应用于以下几个领域：

　　 －晶圆表面光刻物理尺寸（Wafer CD）检测。

　　 －晶圆光刻掩膜板表面物理尺寸（Mask CD）检测。

　　 －平板显示器光掩膜基板表面物理尺寸检测。

　　 －光纤头直径，间距，位置差等基准度检测。

　　 －精密微小元器件（如微型轴承）的高精度三轴测量。

　　 上海泽尔尼仪器有限公司的核心管理和研发团队由美国硅谷留学回国人员组成。公司的中国投资方人本集团拥有全资及控股企业100多家，在日本和美国设有分公司，产品销往50多个国家和地区。人本集团现有资产13.4亿元，员工7200多人，2004年集团销售总额30.68亿元,利润1.55亿元。美国投资方Xomi Instruments Co., Ltd. 总部位于伊利诺伊州芝加哥市，长期在美国硅谷从事半导体精密测量仪器的研发、生产和销售，拥有行业领先的技术、工艺和设备，长期关注中国半导体市场的发展，并于2005年决定在中国投资以寻求更多的商业机会。

　　 上海泽尔尼仪器有限公司秉承“专业，专注”的理念，以专业的素养和专注的态度为客户提供全方位的工艺控制解决方案和技术服务，为完善中国微电子尤其是半导体产业链，推动技术革新贡献力量。