上海微电子装备有限公司是一家集微电子装备开发、设计、制造、销售及技术服务（涉及许可经营的凭许可证经营），经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务（但国家限定公司经营或禁止进出口商品及技术除外）。1.上海微电子装备有限公司（简称SMEE），坐落于上海市的国家级高新技术开发区——浦东张江高科技园区。SMEE主要从事用于集成电路制造的中高端光刻机等关键设备的开发、制造和技术支持与服务，以帮助客户和合作伙伴取得成功。2.SMEE是国家光刻设备工程技术研究中心的依托单位，拥有一批适用于集成电路关键设备研发的专用设施，包括多个研发试验、中试、总装集成平台，拥有完整的成套曝光工艺实验设备和精密机械零件加工与测量设备，具有完备的光学设计、结构设计、动力学仿真、光刻仿真、控制系统设计、软件编码与测试等开发环境，可根据用户的需求独立进行光刻机总体设计、集成调试、安装测试。公司研发制造的设备产品有：SSA600/10型步进扫描投影光刻机SSB500/10A型步进投影光刻机、SSB500/10B先进封装光刻机、STTP5000-1/10超精密温度控制装置(TCU)、高精密温度控制装置(Chiller)