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中电集团公司所
公司介绍
本所成立于1964年,是国内唯一一所从事半导体微细加工设备研发的专业研究所,主要产品有离子注入机,扩散/氧化系统,CVD,LPCVD,PECVD,离子束镀膜机,离子刻蚀机,隧道式工业窑炉等.
| 联系人： |
陈特超
先生
(技术部长) |
| 电话： |
0731-5413811 |
| 传真： |
0731-5413192 |
| 地址： |
湖南
长沙市
长沙市新开铺路1025号 |
| 邮编： |
410111 |
| 网址： |
|
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