90年代初，随着微机械制造技术和微型机电系统MENS（Micro Electric Mechanical System）的研究与应用，激光加工的新兴分支，“激光微加工”正在蓬勃的兴起。激光微加工一般是指特征尺寸小于100um的加工，是微机械制造的一种主要加工技术。
激光加工的实质是激光将能量传递给被加工材料，被加工材料发生物理或化学变化，使其达到加工目的。激光微细加工工艺既能加工出较为复杂的微型结构，且所要求的条件又不像异性刻蚀和LIGA技术那么苛刻，在实验室和工厂较容易实现，又由于激光具有高时间及高场合分辨率，使之有可能在需要高精密加工的场合（如电子、半导体、通讯等行业）得到进一步推广和应用，所以激光微细加工向普通微机械加工提出了巨大的挑战。