公司生产的纳米微加工设备和纳米薄膜加工设备,广泛用于集成电路微结构的二维加工;用于微电子机械结构的三维加工.这些微电子器件包括光电器件、红外器件、磁性器件、声表面波器件、太阳能电池、薄膜电路和薄膜传感器。此外还用于固体表面的钠米尺寸的减薄、抛光结构等微加工。
我们向传感器厂家提供薄膜传感器的生产设备及工艺技术。