矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，Siargo, Ltd. ）成立于2003。公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生产具有自主知识产权，低功耗，超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件 – MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体及微流体（含液体）的流量和浓度的计量和测控，为传统的流体的计量带来了根本的变革，提供了全新的拓展空间。
产品为全电子式，采用标准体积（质量）计量，具有超大量程、高精度、无可动部件、强大数据存储功能、压力损耗小、易于数据远传和网络化等特点，从根本上改变了传统机械仪表的计量方式，在小流量计量能力上大大提高，使有效实施天然气的能源管理、实时监控和资源合理调配成为了可能。矽翔公司基于MEMS 技术的流量芯片除在天然气计量中的应用外，还广泛应用于医疗麻醉与呼吸设备；工业制造业用气体测量及过程控制，环保等多个领域，目前，产品已销售到美国、欧洲、南美、亚洲等多个国家。在医院中心供氧、制氧设备，分床计费系统；食品加工；科学气体分析仪器；楼宇自控；民用健身、保健设备等领域也有广泛的应用。在全新的移动燃料电池等尖端科技领域亦有不可替代的应用。
矽翔公司是GB/T 20727-2006《热式质量流量计》起草单位之一。