机器性能（固晶机）： 名称:晶片扩片机/扩晶机一． 机器用途：sh2002型晶片扩张机被广泛应用于发光二极管、中小型功率三极管、集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。 二． 机器特点：1、采用双气缸上下控制；2、恒温设计，膜片周边扩张均匀适度；3、加热、拉伸、扩晶、固膜一次完成；4、加热温度、扩张时间、回程速度均匀可调。5、操作简便，单班产量大。 三．技术参数：1．电源电压：ac220v±10%，50hz2．工作气压： 4kg/cm23．温度范围： 室温0~400℃4．上气缸行程：150/200 mm5．下气缸行程：100 mm（可双向调节）6．扩张面积： 120/270 cm27．外型尺寸： 长250/290mm×宽235/265mm×高950mm8．机器重量： 20kg
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