ty系列复合分子泵参数表
技术数据
tyfb-600复合分子泵
tyfb-1200复合分子泵
tyfb-1600复合分子泵
高真空法兰(mm)
150 cf
160 iso-k
200 cf
200 iso-k
250 cf
250 iso-k
前级管道法兰(mm)
40 kf
40 kf
50 kf
抽气速(l/s)
600
1200
1600
压缩比
n2
>109
>109
>109
h2
>8x103
>1x104
>1x104
极限压强(pa)帕
<8×10-8
<5×10-7
<8×10-8
<5×10-7
<8×10-8
<5×10-7
电机转数(n／min)
24000
24000
21000
振动值
≤0.1μm
≤0.1μm
≤0.15μm
启动时间(min)
<5
<5
<6
建议采用的前级泵
4-8l／s
8-15l／s
15l／s
冷却方式
水冷(风冷)
水冷(风冷)
水冷(风冷)
风冷泵环境温度
≤25℃
≤25℃
≤25℃
水冷冷却水温度
≤20℃
≤20℃
≤20℃
水冷冷却水流量(l/min)
1
1
1
泵体烘烤温度
<<span>120℃
<<span>120℃
<<span>120℃
加热器功率(w)
<550
<600
<700
加热器输入电压(v)
ac220
ac220
ac220
安装方向
垂直±5°
垂直±5°
垂直±5°
泵重量(kg)
≈29
≈34
≈39

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上海工盛真空机械有限公司
胡君
13816336765
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