现代社会各类文件的主体内容通常以印刷为主，通过静电复印或者激光打印的文件存在变造的可能，如签字盖章后将文件部分文字机械擦刮后再打印或者更换文件部分页次伪造文件等。因此在作为物证时往往需要对文件的真实性的作出鉴别。
x射线光电子能谱仪是常用的表面分析技术，静电复印或者激光打印的文字图像的碳粉性状符合x射线光电子能谱仪对样品稳定、无腐蚀性、无磁性、无挥发性、固态等要求，因此x射线光电子能谱仪可对打印或复印的文件表面元素进行定性和定量分析，以鉴别文件是否经过变造处理。
文件使用的激光打印机或者静电复印机不同，打印或者复印时使用的油墨不同，会使不同文件字迹含有的元素出现差别，即使元素有相同的部分，元素的强度也有区别。在检测时，只需要在文件上剪取约1cm2的碳粉字迹作为样品直接固定于样品台上，再按照x射线光电子能谱仪常规操作进行检测，即可获得样品的xps图谱数据和xps成像。对比不同样品的检测结果就可以看出不同样品是否由同一台机器打印或者复印。
利用x射线光电子能谱仪鉴别文件造假成本较高，但是灵敏度高，结果可靠性强。