470是溶解臭氧测量模块，为半导 体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能 够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/l 的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁”， 能够满足高纯度半导体过程的需求，并且可 简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路 中，最高支持150 slpm的流量。 470型传感器使用双路取样传感技术，且摆脱了对参比液体测 量的需求。 通常的安装仅仅包括470传感器和特氟龙7包 裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模 拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报 告测量的浓度。
技术指标
测量原理 ：紫外吸收法，双路取样传感技术
紫外光源 ：低压汞灯
测量单位 ：ppmw, mg/l
量程 ：高达150 mg/l (150 ppmw)
精度 ：0.5mg/l 或 1%读数 (以较大值为准）
水流量 ：高达150 slpm
采样端口 ：1”, 3/4”, 3/8” flaretek 连接
最大压强 ：55 psi
接触材料 ：特氟龙, 蓝宝石, 与半导体流程相容
外壳 ：聚四氟乙烯特氟隆
尺寸 ：5.69” 宽 x 6.8” 高 x 3.2” 长 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
维护：紫外灯每24个月替换一次 无其他预定维护
电缆：特氟龙外层
电源：+15 vdc
认证：ce 认证
模拟输出：4到20ma或0到5vdc，出厂时选择
数字 i/o：rs-232 或 rs485，出厂时选择
远程校零：通过db15进行远程零点校准
产品特点
现场检测
在线且全流量监测
直线通过的流型
无移动部件
无消耗品
测量范围最高达150 mg/l
远程零点校准
高精度紫外吸收法
双光道采样感应技术
不需求日常维护
半导体级别湿式材料
紧凑的特氟龙外壳
特氟龙7包裹的内部连接电缆
应用
液态溶解臭氧
半导体湿法清洗系统
超纯水系统
制药业
水处理
其他工业过程
关键词：传感器