（东日瀛能 sk/mic-800-gas-y 便携式气体检测仪）
特种工艺气体目前，应用于半导体产业的特种气体有110余种，常用的有20-30种。
按其危险性分类可分为：惰性气体、易ran气体、毒性气体、腐蚀性气体、氧化性气体、低温气体。
1惰性气体
不可燃气体有n2、ar、he等，它们具有窒息性，即取代肺中的氧气后能让人窒息而死。
2易ran气体
易ran气体有c2h2、h2、ch4、sih4、ph3、nh3等，它们具有窒息性，可燃性，其中有些气体如h2、ch4、sih4、ph3还具有爆炸的可能性。
3毒性气体
毒性气体有ash3、ph3、cocl2等,它们的毒性对身体有害，有的可能造成人员中毒死亡。中毒途径有吸人、吸收(通过皮肤)、吞食、注射(通过伤口)。
4腐蚀性气体
腐蚀性气体可分为低腐蚀性气体如hf、bcl3、和高腐蚀性气体如hcl、bf3、二氯甲烷(dcs)、三lv甲烷(tcs)及三氯化氯(clf3)等，它们具有摧毁人的生理组织以及腐蚀设备的危害。
5氧化气体
氧化性气体有o2、n20等它们具有助燃性、高反应性。
6低温气体
低温液体是指在常压下沸点低于-240，例如：液氧、液氩、液氮、液氢、液氦。它们的低温可能会引起冻伤，以及引起周围物品的损伤危险，包括过冷、过大的体积膨胀。
（东日瀛能 sk-7500-gas-y 固定污染源废气气体在线监测预处理系统）
废气半导体芯片生产过程中，会产生大量的有毒有害气体
主要包括：酸碱废气和有机废气两类。
酸/碱废气包括：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。
有机废气包括：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；
主要危害：
半导体芯片生产线的切题危害，主要是器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂（如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物）挥发造成的，以及整机装配过程中产生的粉尘，会造成人群慢性或急性中毒。
检测仪器东日瀛能sk/mic-600-gas-y固定式可燃有毒有害气体浓度检测仪与sk/mic-800-gas-y便携式可燃有毒有害气体浓度检测仪采用进口传感器，抗中毒，高稳定性高精度，可实时在线监测其浓度，自带显示与声光报警。固定式自带4-20ma、rs485以及开关量输出，可定制无线传输数据，高低报警值自由设置，当气体浓度超标时，自动发出85db以上的报警声响，联动排气扇等设备，做出相应的防护动作。精度高、稳定性强、误差率低；配备工业级铝合金防护外壳，坚固耐用。
（东日瀛能 sk/mic-600-gas-y 固定式气体检测仪）
关键词：显示器 芯片 便携式气体检测仪 传感器