洁净车间空调系统方工式
生产洁净车间内每台工艺设备有废气排出，设置独立排风系统。安装在屋面的专用离心排风机将废气排放至大气，排风管高出屋面2m。为满足洁净车间内正压值，在组合式空调机组回风段的回风主管和新风引入管上均设有电动风阀。同一室内不同车间内正压值不同，但两洁净车间与非洁净区之间保持5pa差压值，两车间与室外保持10pa差压值。
无尘室净化工作台维护的几点要求
1、无尘室根据实际情况，定期将净化工作台初效过滤器拆下清洗，清洗周期一般为3-6个月。长期不清洗，净化工作台积尘将影响进风量不足面降低其洁净效果。
2、若无尘室正常调换或清洗净化工作台初效空气过滤器后，仍不能达到理想的截面风速时，则应调节风机的工作电压（旋动旋钮），从面达到理想的均匀风速。要注意的是，无尘室新净化工作台使用时，将调节旋钮从左向右，从低速到高速缓慢调节，不能将新净化工作台调至最高风速。
十万级无尘室之无尘室的特性
（1）耐久性；（2）清洗；（3）成本；（4）适应性；（5）可维护性。
十万级无尘室之无尘室的耐久性
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性，同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 fabs 倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。
十万级无尘室之无尘室的清洗
在制药和生物工学工业，无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在 biotech 市场，清洗真正地是一个最重要的企业。
广州嵘尚净化工程有限公司
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