化学分析法中zui常用的是法，硼酸吸光光度法和靛蓝二磺酸钠分光光度法。前两种方法因对臭氧的专属性不好或稳定性较差，在现场使用中均受到某些限制，而靛蓝二磺酸钠分光光度法因灵敏度高，对臭氧的性强。
仪器法检测臭氧的优点在于灵敏度高，重复性好，对操作者水平要求也不高，是一种较好的方法，但是因为此类仪器原来一般价格昂贵，不易普及使用。
仪器检测臭氧浓度的原理是采用化学发光法、紫外线吸收法和电化学法。因化学发光法须配用乙烯气瓶，乙烯又是可燃物，既危险又不方便，所以近年来上常用的是紫外线吸收法和电化学法。
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