关键词：光学零件非球面共形光学超精密加工
超精密加工技术广泛应用于重大型号工程，例如激光核聚变磷酸二氢钾( potassium dihydrogen phosphate ，kdp) 晶体及聚焦透镜，航天某型号大型平面反射镜，重点型号大型抛物面镜以及大天区面积多目标光纤光谱天文望远镜( the large sky area multi-object fiber spect roscopic telescope ， lam-ost) ，重大科学工程中的反射镜等。为获得高质量影像，缩小体积，减轻重量，很多武器装备都采用非球面光学零件；为进一步提高视场与分辨率的发展需要，光学零件的尺寸也愈来愈大；为减小武器的运动阻力及提高武器的隐身性能，现有的发展趋势是使用共形光学(conformal optics) 零件代替球面光学零件。
1 激光核聚变光学零件超精密加工技术
我国正在研制的激光核聚变装置需要大量的高精度、大口径光学元件，要按期、保质、保量地制造这些光学元件，必须突破现有的工艺水平，采用的*光学制造技术。借鉴美国点火装置(national ignition facility ，nif) 的经验，结合我国的实际情况，将超精密加工技术应用到激光核聚变光学元件的精密制造中。
1.1 大口径平面光学元件超精密加工
激光核聚变装置中的光学元件大多数是矩形、方形或多边形的，同圆形元件相比，这些元件的加工具有明显的边缘效应(特别是角上) 。就目前的技术水平而言，要达到工程所要求的透射波前( p - v 值( peak to valley ，即峰- 谷值) ， λ/ 6 ) 和反射波前( p - v 值，λ/ 4) 是比较困难的，必须采用*制造技术。
大量试验证明，电解在线修整磨削法( elect rolytic in-process dressing ，el id) 的生产效率明显高于传统研磨工艺，该工序有望取代传统抛光前的粗加工———铣磨和粗抛，的缺点是精度略低(相对于精密抛光) 。
使用小工具数控抛光加工340 mm ×340 mm ×60 mm的平面反射镜，初始反射波前误差为3. 5λ( p -v 值，λ = 0. 632 8μm) ，经过仅30 h 的抛光，反射波前误差p - v 值收敛至0. 26λ ，均方根值为0. 035 λ ，如图1 所示(图中标尺列出的“+ 、- ”值应当用不同的色彩表示，黑白照无法区分，只是一个示意图) 。从图中明显地看到通常所说的“碎带”误差，在强激光系统中，这种高频误差必须严格控制。因此这种工艺方法不能作为强激光系统光学元件的终加工。