真空泵的维护:为了保证真空泵的性能，更换真空泵油换油周期，真空泵在40℃以内环境温度下工作，每500工作小时真空泵在41-50℃的环境湍度下工作 ，每隔300工作小时。很多微型真空泵的本身是没调节真空度的功能的，只有通过加阀门的方式调节。如果真空泵进水是由于冷却器积水过多，水被抽到真空泵内处理的油中含水量多，其水蒸汽未能在冷却器中冷却成水而进入真空泵，可通过观察冷却器上的液位计，若水位过高，应及时放掉，应清洗真空泵，更换真空泵油去除这样的情况。
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真空度低是什么原因，如何调节：被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行*或更换，真空泵冷却水流不够。但要留意拉出转子时一定要用手捏紧旋片，因旋片受弹簧力较大，一不小心容易脱手飞出，掉于地上或碰到硬物，碰坏旋片棱角及外表形成无端报废。应加大冷却水流量，装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行*或更换。真空泵运转中摩擦发热.温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
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无油真空泵的维护
1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。
2、无灰尘及脏物的清洁场所。
3、无水、油等液体会降落到泵上。
4、不直接暴露在阳光里。
5、有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。
6、泵必须安装在平坦的平面上。
7、将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。
8、必须确保泵不因基础不牢固而引起震动。
9、与泵连接管道不宜过长和小于泵进口径，影响抽速，同是注意检查真空连接管道有否漏气。
10、接电线时，应注意电机铭牌上的规定接线要求。三相电泵要注意电机旋转方向应与泵上的标示箭头方向。
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