（1）质量范围质量范围是指在质谱仪具有一定灵敏度和分辨能力的条件下仪器可以工作的小质量和大质量之间的范围，以质量m表示。下限 质量范围的大值取决于真空系统中残留气体的峰值。 通常，选择原子氢离子的质量数m ＝ 1u作为质量范围的下限（小质量数）。质量范围的上限是通过测量样气光谱确定的。 样气的选择应尽可能接近质量范围的上限。 当没有合适的样品气体时，可以根据质量扫描参数和质量标度之间的关系，通过外推法使用质谱仪的质量扫描参数和质量标度来计算扫描参数的值。 根据所测气体的成分确定选择。 需要考虑两个因素，超高真空中残留气体的分子量和测试样品的气体成分。 质量范围的下限应确保可靠地选择2u的m2u的质量峰的质量范围上限。 确定被测气体的大质量。 超高真空下残留气体测量的大质量为m = 50u。 已经。 如果需要检测微量残留气体，例如丙酮和苯，则应选择仪器质量范围的上限。 m = 100u。 对于氙气的测量，应选择质量谐波计的质量范围的上限。 m = 150u。
（2）分离度两个相邻质谱峰的容量m和m△m通常用m /△m表示，△m称为分离度，用峰在某一高度处的宽度表示。 质量m峰。 真空质谱仪通常在10％或50％峰高下测量δm。 超高真空系统的分压测量不需要高分辨率。 通常，△m = 1（峰值10％）就足够了。 为了简化定量测量，峰高用于表示该组分的强度。 要求质量谐波计在质量范围内具有恒定的峰宽，即，分辨率δm是恒定的。
（3）分压灵敏度（灵敏度）质谱仪的灵敏度定义为：输出离子电流△i的变化量除以引起该变化的气体的分压的变化值δp。 灵敏度表示有两种形式：*种方法是使用单位压力下的离子电流来显示，单位为a / pa，此方法是固定一定的发射电流，而不管其值如何； 第二种方法使用单位收集电子电流和单位压力。离子电流以1 / pa为单位表示。通常，质谱仪的灵敏度与其他参数（例如分辨率和扫描速度）有关。 因此，在测量质谱仪的灵敏度时，应质谱仪的操作参数。 此外，灵敏度还受到电极污染，倍增增益衰减和灯丝位置变化的影响。 因此，必须在测量分压时定期校准灵敏度。
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