臭氧是一种气体，具有强氧化性质，可在水中杀菌消毒、除味、降解有机物、脱色、漂白、去除水中酚、氰等污染物质。在污水处理、废气处理、烟气脱硝、空气净化等领域被广泛应用。污水处理臭氧发生器由气源系统、冷却系统、电源系统、臭氧发生系统等部分组成。在工业污水处理工程中臭氧氧化工艺往往是作为一个操作单元接在常规废水处理流程之后，其目的就是对废水进行审核处理，使其出水水质有的可达到国家规定的排放标准，有的可提高出水水质，使其在生产水系统中循环使用或者回用。
污水处理臭氧氧化工艺：
由臭氧发生器产生出来的臭氧，如何有效地被水吸收，这是臭氧氧化工艺处理废水的一个关键问题，臭氧水的接触反应系统是一种将臭氧投入废水中并使之与废水中的有机物、细菌、金属离子等进行化学反应及消毒，生化反应的过程。
其反应效果(即废水处理效果)既与相同质量传递有关，也与反应过程本身有关，对于不同的反应过程应选用与其相适应的接触反应装置，目前，国内常用的反应装置主要有鼓泡法、静态混合器、涡轮注入器、压力喷射器、填料塔等。
污水处理臭氧设备按使用的气体原料划分，有氧气型和空气型两种。氧气型通常是由氧气瓶或制氧机供应氧气。空气型通常是使用洁净干燥的压缩空气作为原料。氧气型发生器的臭氧浓度相对于空气型臭氧发生器的浓度较高。
污水处理臭氧氧化工艺臭氧氧化技术具有如下特点：
(1)臭氧不仅有很好的快速杀菌、消毒性质，而且具有较高的氧化有机和无机化合物的氧化力，可去除其它水处理工艺难以去除的物质。
(2)臭氧的反应速度快，从而可以减小构筑物体积。
(3)剩余臭氧会迅速转化为氧气，能增加水中溶解氧，效率高，不产生污泥，不造成二次污染。
(4)在提高净化效果、杀菌、消毒的同时，可除嗅、除味。
(5)制备臭氧用的电和空气不必储存和运输，臭氧化装置占地小，运行操作管理简单，特别适用干原有水厂的提高水质和水量。
臭氧发生器所产生的臭氧，通过气水接触设备扩散于待处理水中，通常是采用微孔扩散器、鼓泡塔或喷射器、涡轮混合器等。臭氧的利用率要力求达到90%以上，剩余臭氧随尾气外排，为避免污染空气，尾气可用活性炭或霍加拉特剂催化分解，也可用催化燃烧法使臭氧分解。
臭氧和生物降解的组合可减少臭氧的消耗，成本也降低了，臭氧部分被移植到了带有生物降解的多级系统中(在生物降解前一定有臭氧氧化，有时也在生物降解后加上臭氧-bio-臭氧系统)
较常用的容器是装备有扩散或文丘里主斜七的气泡柱反应器，多数是以逆流的模式工作，很多反应器的操作压力往往很高，这样可以加快传质速率，提高整个过程的效率。