在恒温密闭容器中，气液两相达到动态平衡时的压力称为饱和蒸汽压。 油的饱和蒸气压应尽可能低。 在泵的高工作温度下，它必须仍然具有足够低的饱和蒸气压，并且低于真空泵规则的极限压力。 在60°c的温度下，它必须至少达到6.5×10-5 kpa（温度每升高20°c，饱和蒸气压将下降一个数量级）。
摩擦表面的摩擦磨损，疲劳磨损和腐蚀磨损均与光滑条件有关。 高性能的泵油有利于抑制腐蚀和磨损； 能有效减少胶粘剂磨损和疲劳磨损； 流体平滑剂对摩擦表面具有清洁作用，并且还可以减少摩擦和磨损。 降低摩擦阻力以节省能量并减少磨损以延长机械寿命。 避免在摩擦过程中接触周围的介质，从而导致腐蚀，生锈和损坏。 性能优异的泵油可尽可能清洁摩擦区域。
在真空泵的操作过程中，由于存在空气，经常会产生泡沫，特别是当油中含有外部活性添加剂时，更容易发生泡沫，并且泡沫不容易消失。 使用光滑油时产生的泡沫会破坏油膜，不仅会导致摩擦表面烧结或增加磨损，还会促进光滑油的氧化和降解。
运行中的真空系统中的气环将不时从密封的泵油层中排出。 排出的气体套环将在油层表面产生大量气泡，并从泵的排气孔溢出，从而导致机油损失和设备污染。 带有消泡剂的泵油在消泡作用方面有明显的进步。 简而言之，真空泵油是真空泵配件的一部分，在设备中起着至关重要的作用，选择时必须遵循某些要求。
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