玻璃基板超纯水传统制备工艺是采用阴阳树脂交换设备,该工艺的缺点在于树脂在使用一段时间以后要经常再生,随着膜分离技术的不断成熟,渗源常采用反渗透工艺,或是采用反渗透后面再经过电去离子edi工艺、抛光混床来制取超纯水,保证出水水质符合行业标准,满足芯片行业用水需求。
玻璃基板超纯水设备主要具有以下特点:
1.全自动智能识别,并且具有故障预警功能,安全可靠。
2.操作简单,显示数据简明清晰,参数全面,易于综合考量分析。
3.纯化模块分工明确,部分更换不会影响总体工艺流程。
4.专业配备预处理模块,对进水有机物和余氯的去除更,反渗透膜的使用寿命更长。
5.多功能脱盐净化处理单元,逐级脱盐处理,最终满足用水水质要求。
6.配备高精度的电阻率检测系统,全面监控超纯水设备的运行和水质变化。
7.运行成本和维修成本低,并且操作简单,劳动强度低。
渗源超纯水设备,超纯水精度可达美标e1.3,采用膜表面嫁接技术达到更好的脱盐率,能连续、稳定地生产高纯度的超纯水。已成功应用到晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀涂装、试剂稀释、氟化工等多个领域。
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