氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，冰箱检漏仪，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴*电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦气检漏仪可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；定制的的密封接头，稳定可靠，减少误判。
质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；所用“示踪气体”在空气中含量低，*，不腐蚀零件；于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。
一般检漏都采用氦气(he)作为示漏气体，但也有用氢气(h)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12pa·m3/s据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。
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