测量电源（源测量单元），配备高速响应脉冲生成/测量功能和低电阻测量功能，可以测试连接器的接触电阻。它有 4½ 位电压和电流源，5½ 位测量，基本精度为 ±0.02%。扫描模式包括线性、固定、随机和双斜率线性扫描（中途切换步进值的扫描），以及最小脉冲宽度为50μs的脉冲测量功能，因此可用于测量半导体和可广泛用作研发评估电源及生产线特性测试系统电源。此外，还可以进行符合 jis 标准的连接器的低电阻测试和导电材料的低电阻测量。此外，通过抵消线束等金属接触面上产生的热电动势，可以高精度地测量接触电阻。
测量功能可以通过源和测量功能来选择电压生成/电流生成和电压测量/电流测量/电阻测量。
可产生直流和脉冲
仅可产生脉冲或脉冲负载 脉冲宽度：20 毫秒或更小，占空比 20% 或更小
电压/电流源模式
电压/电流产生方式有直流、脉冲、直流扫描、脉冲扫描四种，另外扫描有固定、线性、随机（用户编程任意产生）、双斜率线性（步进）扫描（带间隔切换的线性扫描）。最小脉冲生成是 50 μs 的脉冲宽度。最小周期为 2 毫秒，500 微秒，无测量。