2、检查流量计: 若能排除显示仪问题则很可能是实际流量控制不稳或者流量控制器问题。
需要排除周围是否存在干扰：
1、可能为地线干扰，检查接地系统，注意一点接地；
2、可能为气源压强太低或不稳，需要提高气源气压，稳定气源压强。
3、可能为空间干扰，可采用适当屏蔽，远离干扰源,选用屏蔽线的方法。
4、可能为气体性质不同，使用氮气标定同分子量较重的气体时也可能出现控制不稳定现象。
5、可能为污染，如气源有粉尘，容易液化等应在通道前加装过滤器或
6、可能为气源内阻过大，需要降低气源内阻(大流量时要注意开大阀门，加粗管道，以至并联气瓶，提高气源供气能力)。者适当加温。若使用硅烷等特殊气体，应注意管路的密封性和气源干燥。