氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，氦质谱检漏仪价格，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率快，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴*电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
背压法氦质谱检漏的优缺点
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，正压氦质谱检漏仪价格，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，正压氦质谱检漏仪价格，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏标准主要有qj3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、gjb360a-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》，主要应用于各种电子元器件产品检漏。
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