排放自工艺含vocs的废气进入双槽rto，三向切换风阀(poppet valve)将此废气导入rto的蓄热槽(energy recovery chamber)而预热此废气，含污染的废气被蓄热陶块渐渐地加热后进入燃烧室(combustion chamber)，vocs在燃烧室被氧化而放出热能于第二蓄热槽中之陶块，用以减少辅助燃料的消耗。陶块被加热,燃烧氧化后的干净气体逐渐降低温度，因此出口温度略高于rto入口温度， 三向切换风阀切换改变rto出口/入口温度。 如果vocs浓度够高，所放出的热能足够时， rto即不需燃料， 例如rto热回收效率为95%时，rto出口仅较入口温度高25℃而已。
力皇rto工艺图
蓄热式催化剂焚烧炉(rco)
排放自工艺含vocs的废气进入双槽rco，三向切换风阀(poppet valve)将此废气导入rco的蓄热槽(energy recovery chamber)而预热此废气，含污染的废气被蓄热陶块渐渐地加热后进入催化床(catalyst bed)，vocs在经催化剂分解被氧化而放出热能，于第二蓄热槽中之陶块，用以减少辅助燃料的消耗，陶块被加热,燃烧氧化后的干净气体逐渐降低温度，因此出口温度略高于rco入口温度，三向切换风阀切换改变rco出口/入口温度， 如果vocs浓度够高，所放出的热能足够时，rco即不需燃料，例如rco热回收效率为95%时，rco出口仅较入口温度高25℃而已。
催化剂焚烧炉( catalytic oxidizer )
催化剂焚烧炉的设计是依废气风量，vocs浓度及所需知破坏去除效率而定，操作时含vocs的废气用系统风机导入系统内的换热器，废气经由换热器管侧(tube side)而被加热后，再通过燃烧器,这时废气已被加热至催化分解温度，再通过催化剂床，催化分解会释放热能，而vocs被分解为二氧化碳及水气，之后此一热且经净化气体进入换热器之壳侧(shell side)将管侧(tube side)未经处理的voc废气加热，此换热器会减少能源的消耗，最后净化后的气体从烟囱排到大气中。
直燃式焚烧炉( thermal oxidizer )
直燃式焚烧炉的设计是依废气风量，vocs浓度及所需知破坏去除效率而定。操作时含vocs的废气用系统风机导入系统内的换热器，废气经由换热器管侧(tube side)而被加热后，再通过燃烧器，这时废气已被加热至催化分解温度(650~1000℃)，并且有足够的留置时间(0.5~2.0秒)。这时会发生热反应，而vocs被分解为二氧化碳及水气，之后此一热且经净化气体进入换热器之壳侧(shell side)将管侧(tube side)未经处理的voc废气加热,此换热器会减少能源的消耗(甚至于某ㄧ适当的vocs浓度以上时便不需额外的燃料)，最后,净化后的气体从烟囱排到大气中。
直接燃烧焚烧炉( direct fired thermal oxidizer-dfto )
有时直接燃烧焚烧炉源于后燃烧器(after-burner)，直接燃烧焚烧炉使用经特别设计的燃烧器以加热高浓度的废气到ㄧ预先设的温度，于运转时废气被导入燃烧室(burner chamber)，燃烧器将vocs及有毒空气污染物分解为无毒的物质(二氧化碳及水)并放出热,净化后的气体可再由一热回收系统以达节能的需求，直接燃烧焚烧炉可达99%碳氢化合物破坏去除率，为达此去除率，高温的废气区在炉内保持一定的滞留时间，在入口处也须让废气有足够的扰流和氧产生充分的混合，充分的扰流不只提高去除破坏率，更是为安全考虑。
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