高真空插板阀主要用于高真空系统中接通或截止气流,可安装在被抽真空容器与真空泵之间,或用于在半连续真空作业的进出料容器上。使用温度为-20~80℃,不适用于对黑色金属有腐蚀性或含颗粒状物灰尘的气体。 超高真空插板阀则主要用于超高真空系统中接通或截止气流,适用的介质为洁净的空气或非腐蚀性气体,适用温度在阀门开启时,阀体允许烘烤温度小于150℃。 真空插板阀的形式和性能参数已有行业标准,如**/t4077—91,规范了高真空插板阀的形式和基本参数,适用于1.3×10-5~1.0×105pa真空系统中用来开启或隔断气流的插板阀。超高真空插板阀有手动(cc型)、气动(ccq型)和电动(ccd型)三种,适用于介质为清洁空气及非腐蚀性气体的超高真空系统中切断或接通气流。
进口真空插板阀,如沃德进口电动真空插板阀,采用金属丝密封和无橡胶圈密封,具有平稳、可靠、震动小的特点,性能指标包括低阀体漏率、广泛的使用范围、快速响应时间和高耐压能力,适用于电子、冶金、镀膜等领域。进口真空插板阀的设计还考虑了模块化,便于安装、维护和更换部件,降低了维护成本,提高了系统的整体可靠性。
真空插板阀因其优良的性能和广泛的应用领域,成为真空技术领域不可或缺的关键组件。
