平台采用真空版本压电螺钉驱动，全行程内具有超过20nm的分辨率，额定负载30n，设计结构紧凑，具有出色的长期稳定性且能在断电情况下继续保持在设定位置。
特点
• xyz向运动
• 行程可达25.4mm/轴
• 分辨率达0.5μm
• 真空度打10^-5pa
• 可定制闭环版本
应用
• 平版印刷
• 纳米压印/纳米计量学
• 半导体技术/半导体测试
• 在强磁场和真空中运动
1~3维运动平台
该系列真空版本运动平台，可实现x、xy、xyz等多轴运动，均可实现25.4mm的精密位移调整。
技术参数
型号：xyz65n81k26
运动自由度：xyz
行程范围：25.4mm/轴
最小位移增量：<30nm
分辨率：0.5μm
中心负载：50n
轴承：滚珠
材料：铝
工作温度：10~40℃
端口：4-pin
出线长：2m
推荐控制器
该系列平台可由驱动器e53.c4k通过usb接口进行4轴开环控制。