日本小坂kosaka 台阶仪 | 微细形状测定机et200a概述
et200a基于windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、mems、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。et200a 能可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 et200a 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色ccd 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
日本小坂kosaka 台阶仪 | 微细形状测定机et200a特点
★et200a台阶仪适用于二次元表面纳米等级段差台阶测定、粗糙度测定。
★et200a台阶仪拥有高精度．高分解能，搭配一体花岗岩结构，安定的测量过程及微小的测定力可对应软质样品表面。
★该型号台阶仪采用直动式检出器，重现性高。
日本小坂kosaka 台阶仪 | 微细形状测定机et200a产品参数
大试片尺寸 φ200mm×高度50mm
重现性 1σ ≤ 1nm
测定范围 z:600um x:100mm
分解能 z:0.1nm x:0.1um
测定力 10un~500un (1mg-50mg)
载物台 φ160mm, 手动360度旋转